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MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng) 利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。 具有小體積、低成本、集成化等特點(diǎn) 。 MEMS工作原理圖 MEMS傳感器的應(yīng)

傳感器隨機(jī)誤差與系統(tǒng)誤差的區(qū)別和聯(lián)系 隨機(jī)誤差是許多微小的、獨(dú)立的、不可分割的系統(tǒng)誤差的統(tǒng)計(jì)綜合。或者說，它是多種因素造成的許多微小誤差的總和。 顯然，它的產(chǎn)生是由于各種互不相關(guān)的獨(dú)立因素圍繞其平均值產(chǎn)生隨機(jī)起伏。例如，電磁場(chǎng)的變化、環(huán)境溫

任何物體只要在絕對(duì)零度以上時(shí)，都會(huì)以一定的波長(zhǎng)向外輻射能量，只是在低溫段的輻射能量很弱。 常溫下，自然界的所有物體都是紅外輻射的發(fā)射源，只是紅外輻射的波長(zhǎng)不同。例如，人體溫度37℃，紅外輻射波長(zhǎng)為9~10m；400～700℃物體的紅外輻射波長(zhǎng)為3~5m。 非

近年國(guó)內(nèi)燃?xì)獗硎袌?chǎng)容量高達(dá)千萬臺(tái)，據(jù)估算，總市場(chǎng)空間超400億元，燃?xì)獗硎袌?chǎng)前景廣闊、大有可為。市場(chǎng)現(xiàn)有燃?xì)獗矶酁槠つな綑C(jī)械表，隨著熱量計(jì)量、能量計(jì)量方式的興起，超聲波燃?xì)獗砘驘崾劫|(zhì)量流量表將后來居上成為主流，本文將對(duì)熱式流量質(zhì)量表的技術(shù)進(jìn)展

導(dǎo)讀： MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文縮寫，用硅做的比較多。它是經(jīng)過光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微機(jī)電加工等工藝加工制作的高科技電子機(jī)械器件。 01、國(guó)內(nèi)外MEMS流量檢測(cè)芯片介紹 MEMS熱式流量檢測(cè)原理 MEMS 流量檢測(cè)芯片由兩個(gè)溫度傳感器