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MEMS的全稱是微型電子機械系統 利用傳統的半導體工藝和材料，集微傳感器、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。 具有小體積、低成本、集成化等特點 。 MEMS工作原理圖 MEMS傳感器的應

傳感器隨機誤差與系統誤差的區別和聯系 隨機誤差是許多微小的、獨立的、不可分割的系統誤差的統計綜合?；蛘哒f，它是多種因素造成的許多微小誤差的總和。 顯然，它的產生是由于各種互不相關的獨立因素圍繞其平均值產生隨機起伏。例如，電磁場的變化、環境溫

任何物體只要在絕對零度以上時，都會以一定的波長向外輻射能量，只是在低溫段的輻射能量很弱。 常溫下，自然界的所有物體都是紅外輻射的發射源，只是紅外輻射的波長不同。例如，人體溫度37℃，紅外輻射波長為9~10m；400～700℃物體的紅外輻射波長為3~5m。 非

近年國內燃氣表市場容量高達千萬臺，據估算，總市場空間超400億元，燃氣表市場前景廣闊、大有可為。市場現有燃氣表多為皮膜式機械表，隨著熱量計量、能量計量方式的興起，超聲波燃氣表或熱式質量流量表將后來居上成為主流，本文將對熱式流量質量表的技術進展

導讀： MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文縮寫，用硅做的比較多。它是經過光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微機電加工等工藝加工制作的高科技電子機械器件。 01、國內外MEMS流量檢測芯片介紹 MEMS熱式流量檢測原理 MEMS 流量檢測芯片由兩個溫度傳感器