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顯微鏡下的MEMS結構（注意圖上刻度是微米） MEMS應用范圍很廣，封裝應根據實際終端應用要求（如保護性、氣密性、散熱性等）進行設計。 消費電子/移動應用驅動MEMS市場快速成長，復合年增長率可達13%。 ◆ 未來5年通信和醫療應用增長最快，復合年增長率高達20

MEMS技術是一個雖有歷史但充滿年輕活力的技術，誕生于半個世紀以前，興起于二十年前。小小的MEMS有著大大的玄機，與大家耳熟能詳的半導體技術息息相關，但其制造、設計、材料等工藝又獨樹一幟，迥異于傳統的半導體工藝。 一、什么是MEMS MEMS的概念于20世紀5

摘要：為了實現電流傳感器在配電網中的覆蓋使用，電流傳感器朝著小型化、低成本、性能可靠和易安裝維護方向發展，基于三維感應線圈的新型 MEMS電流傳感器 便被研究出來了，它可立體檢測配電網電流。 近年來，隨著半導體和微電子技術的發展，基于MEMS的電流傳

引言 機器人、無人機、無人車、無人船等代表性無人系統的智能自主控制是當前自動控制領域的研究熱點，更是提升無人系統自主性和智能化水平的核心技術。自主導航技術利用對應的自主導航系統獲取無人系統自身的位置、速度及姿態信息，是實現無人系統智能自主控

文章導讀 VOCs、PM2.5、PM10和臭氧這些污染物的名詞經常被分開闡述其危害性，但它們也是有邏輯關系的，VOCs是形成O3的重要前體物。本文講解了臭氧與VOCs的基礎知識。