擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構成惠斯登電橋。利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。

擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，傳感器的電阻值發生變化，用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。

1、適合制作小量程的變送器

硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。

3、精度高

由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現，沒有中間轉換環節，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。

4、壽命長，性能穩定

由于工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片最大位移在亞微米數量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×10⁷壓力循環，性能穩定，可靠性高。

5、抗腐蝕能力強

由于硅的優良化學防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。

6、體積小，重量輕

由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。

測量介質：液體和氣體

量程范圍：-100kPa～0～10kPa…100MPa

壓力類型：表壓、絕壓、密封壓

輸入阻抗：恒壓：3kΩ～18kΩ/恒流：2kΩ～5kΩ

響應時間：≤1ms（上升到 90%FS）

擴散硅壓力傳感器主要應用于過程控制系統、壓力校準儀器、液壓系統、生物醫藥儀器、液壓系統及閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC 控制等行業，可以說，凡是自動化要求比較高的行業，都可能會用到擴散硅壓力傳感器。